【专利】长鑫存储“晶圆测试结构及其制作方法、晶圆”专利获授权；上海传芯半导体有限公司公布两项掩模基板制备方法专利
1.长鑫存储“晶圆测试结构及其制作方法、晶圆”专利获授权
2.上海传芯半导体有限公司公布两项掩模基板制备方法专利
3.华人学者主导，NASA将进行在轨微电子制造技术演示验证
4.国家重点研发计划“大尺寸氧化镓半导体材料与高性能器件研究” 顺利通过方案论证
5.华勤技术“一种电子设备”专利获授权
1.长鑫存储“晶圆测试结构及其制作方法、晶圆”专利获授权
集微网消息，天眼查显示，近日长鑫存储新增多项专利信息，其中一条名称为“晶圆测试结构及其制作方法、晶圆”，公开号为CN113517260B，法律状态显示该专利已获授权。
专利摘要显示，本申请提供一种晶圆测试结构及其制作方法、晶圆，涉及半导体技术领域，用于解决晶圆测试结构所占用空间较大的技术问题，该晶圆测试结构包括：多个待测电阻、第一测试垫和多个第二测试垫；其中，多个待测电阻层叠设置，且相邻的两个待测电阻之间设置有绝缘层；多个待测电阻的第一端分别与第一测试垫电连接，多个待测电阻与多个第二测试垫一一对应，且每个待测电阻的第二端电连接相对应的一个第二测试垫。通过将各待测电阻的一端共接，将各待测电阻的另一端分别引出并连接第二测试垫，使得各待测电阻共用一个第一测试垫，在保证各待测电阻可以正常测量的基础上，减少了第一测试垫和第二测试垫的总数量，从而减少了测试结构所占用的空间。
（校对/刘昕炜）
2.上海传芯半导体有限公司公布两项掩模基板制备方法专利
集微网消息，天眼查平台显示，上海传芯半导体有限公司两项掩模基板制备方法发明专利日前公布，申请公布日均为2023-09-15。
“衬底的抛光装置、方法以及光掩模基版的制造方法”专利摘要显示，本发明提供了一种衬底的抛光装置、方法以及光掩模基版的制造方法，所述衬底的抛光装置包括：离子发生器，用于向衬底表面发射等离子体或离子束；至少一个线圈，设置于所述衬底的外围，所述线圈用于产生平行于所述衬底表面的磁场，以使得所述等离子体或所述离子束在所述磁场的作用下向平行于所述衬底的方向发生偏转。本发明的技术方案使得在抛光过程中避免损伤衬底表面，从而使得明显提高衬底表面的平整度，改善衬底表面的粗糙度。
“掩模版的制备方法、干法刻蚀设备”专利摘要显示，本发明提供了一种掩模版的制备方法、干法刻蚀设备。在掩模版的制备方法中，具体可利用干法刻蚀工艺刻蚀光刻胶层，并在刻蚀的过程中实时监测位于光刻胶层下方的金属层内的电流，从而可以在金属层的电流出现突变时及时提示刻蚀终点，更灵敏的监测刻蚀终点，提高刻蚀精度，改善金属层受到刻蚀损伤的问题。
根据公开信息，传芯公司于2020年7月1日在中国(上海)自由贸易试验区临港新片区注册成立，是一家致力于半导体级空白掩模版(即掩模基板)的研发和产业化生产的综合型公司，通过引进国内外专业技术及高端人才，汇聚多方资源组建专业团队，实现集成电路产业链中关键原材料和零配件的国产化，填补国内半导体级空白掩模版领域的空白。
3.华人学者主导，NASA将进行在轨微电子制造技术演示验证
集微网消息，亚利桑那州立大学电气工程助理教授Ying-Chen Chen正与NASA合作，开发一种微重力环境下的微电子制造方法，减少制造设备所需的资源。
在太空中制造微电子产品有可能消除半导体制造过程中冗长且昂贵的关键步骤，特别是对于地球上使用的基于3D氧化物的电阻式随机存取存储器(RRAM)设备。这些器件与传统2D RRAM器件的不同之处在于，它们垂直堆叠存储器存储单元层，而不是传统的平面排列，从而在单个器件中实现更小的占地面积和更多的存储器存储。
该团队的研究由CHIPS法案以及NASA太空生产应用程序项目的资金资助，旨在利用太空微重力产生的减压来消除蚀刻的需要，由于需要较厚的半导体晶圆薄膜材料层来补偿重力，因此在地球半导体制造工艺中需要进行蚀刻。研究人员假设，由于缺乏重力，可以在太空中使用更薄的薄膜层，从而在制造过程中直接形成足够深的沟槽，从而无需进行蚀刻。
许多行业合作者都对该方法感兴趣，包括Tokyo Electron、Axiom Space、英特尔和富士等公司都参与了这项研究。
该研究团队的学术成员还包括爱荷华州立大学材料科学与工程系副教授Shan Jiang，他将首次测试其半导体制造理论，由零重力航空公司进行的抛物线飞行将提供20秒的零重力条件。如果这项研究成功，它将为在国际空间站以及未来的商业空间站（如Axiom Space计划的空间站）上安装半导体设备打开一扇大门。连接到轨道上较大空间站的浮动工厂也是一种可能性。
4.国家重点研发计划“大尺寸氧化镓半导体材料与高性能器件研究” 顺利通过方案论证
集微网消息，杭州光学精密机械研究所官方公众号日前介绍，9月4日，国家重点研发计划“新型显示与战略性电子材料”重点专项“大尺寸氧化镓半导体材料与高性能器件研究”项目启动会在杭州富阳顺利召开。
该项目由中国科学院上海光学精密机械研究所牵头，联合厦门大学、吉林大学、中国电子科技集团公司第五十五研究所、北京中材人工晶体研究院有限公司、复旦大学、电子科技大学、杭州光学精密机械研究所、杭州富加镓业科技有限公司多家单位协同攻关。
文章介绍，项目计划面向发展氧化镓基日盲紫外探测及功率电子器件的迫切需求，以解决氧化镓单晶衬底和外延薄膜缺陷与掺杂机制，微观电子结构、薄膜物性和器件性能构效关系等关键科学问题为基础，突破6英寸单晶热场设计、高质量外延膜生长、器件核心结构设计等关键技术，研制出新一代高性能氧化镓基功率及探测器件。
文章展望，本项目的实施将打通氧化镓材料、外延到器件的全链路，研究成果有望逐步应用于电动汽车、光伏变电、舰艇综合电力、雷达探测、日盲紫外预警及环境监测等方向，对推动相关产业的技术创新、产业结构优化和经济发展具有积极的意义。同时也有助于打破国外相关技术封锁，提升我国在该领域日趋激烈的国际竞争中的地位，推动我国在宽禁带半导体领域的发展。
5.华勤技术“一种电子设备”专利获授权
集微网消息，天眼查显示，华勤技术股份有限公司“一种电子设备”专利获授权，授权公告日为9月12日，授权公告号为CN219678180U。
图片来源：天眼查
专利摘要显示，本实用新型实施例提供一种电子设备，应用在计算机技术领域，该电子设备包括：电池供电电路、外部电源供电电路、待供电系统，电池供电电路和外部电源供电电路，分别与待供电系统连接。电池供电电路，用于对待供电系统进行供电。外部电源供电电路，用于在电池供电电路的供电电压不满足供电条件时，对待供电系统进行供电。通过多种不同的供电方式对待供电系统进行供电，增加了待供电系统的续航时间，且不需要频分更换电池，提高了用户体验。通过启用外部电源对待供电系统进行供电，使得在电池供电电路没电的情况下依然确保待供电系统的正常运行。（校对/刘沁宇）